Плотникова, Е. Ю. Моделирование технологических процессов и интегральных микросхем : Лабораторный практикум

Троян, П. Е. Наноэлектроника : Учебное пособие

Смирнов, С. В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем : Учебное пособие

Каменская, А. В. Основы технологии материалов микроэлектроники : Учебно-методическое пособие

Сиркен, М. А. Методическое пособие к выполнению лабораторно-практических занятий по дисциплине «Электроника»

Янчич, В. В. Пьезоэлектрические виброизмерительные преобразователи (акселерометры) : Монография