Шубин, В. В. Расчёт и проектирование топологии элементов КМДП СБИС : Практикум

Сулимов, Ю. И. Электронные промышленные устройства : Учебное пособие

Мухуров, Н. И. Электромеханические микроустройства

Легостаев, Н. С. Твердотельная электроника : Методические указания по изучению дисциплины

Селиванова, З. М. Технология радиоэлектронных средств : Учебное пособие по курсовому проектированию

Физические основы электроники : Методическое пособие для проведения лабораторных работ