Селиванова, З. М. Общая электротехника и электроника : Лабораторный практикум

Троян, П. Е. Наноэлектроника : Учебное пособие

Каменская, А. В. Основы технологии материалов микроэлектроники : Учебно-методическое пособие

Сиркен, М. А. Методическое пособие к выполнению лабораторно-практических занятий по дисциплине «Электроника»

Игнатов, А. Н. Химико-технологические основы микро и наноэлектроники : Учебное пособие

Смирнов, С. В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем : Учебное пособие