Технология материалов и изделий электронной техники. Часть 1

Смирнов, С. В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем : Учебное пособие

Янчич, В. В. Пьезоэлектрические виброизмерительные преобразователи (акселерометры) : Монография

Каменская, А. В. Основы технологии материалов микроэлектроники : Учебно-методическое пособие

Левин, Б. Х. Упражнения по основам электроники

Троян, П. Е. Наноэлектроника : Учебное пособие