Мурадова, Лейла Самурхановна. Разработка широкоапертурного плазменного источника низкоэнергетических потоков ионов неона в реакторе для аддитивных плазменных технологий : магистерская диссертация: направление 03.04.02 "Физика"; профиль " Физика плазмы"