Амашаев, Рустам Русланович. Синтез тонких пленок карбида кремния на кремнии с использованием метода молекулярного наслаивания : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук: (1.4.15)
Амашаев, Рустам Русланович. Синтез тонких пленок карбида кремния на кремнии с использованием метода молекулярного наслаивания : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук: (1.4.15)
